Atomospheric Pressure Plasma Jet Treatment System
(대기압 저온 마이크로 플라즈마 표면처리 시스템)

• Applications
  • Medial & Bio Application
  • MEMS
  • Surface Treatment
  • PDMS & Glass Bonding Process
  • Microfluidic Chip

저온 대기압 플라즈마
표면처리 시스템

• 최근 급속 성장하는 플라스틱 또는 유리 기반으로 한 바이오 칩 제작 관련 수요
• 대면적 접합 공정을 이용하는 반도체 소자 및 MEMS 소자 관련 수요
• 저온 플라즈마 표면 처리 기술이 바이오칩 소자 패키지의 핵심 기술
• 친환경적 기술이므로 기존에 사용되는 화학약품 공정의 대체 가능성
• 폐기물 처리와 오염된 토양 및 공기의 정화 등에 대한 이용 가능성

저온 대기압 플라즈마
분사시스템 응용분야

• IT
  • TFT-LCD용 대면적 유리기판의 세정 IT
  • 웨이퍼 세정 PCB기판의 표면처리
  • 폴리머의 표면 개질(OLED, 유기 태양전지)
• NT
  • 나노 튜브 및 나노 입자의 표면처리
• BT
  • 바오이칩 바이오센서 세포 표면처리 (식물종자 활성화)
  • 의료기기 소독 (인공관절 표면개질을 통한 접합성 증가)
• ET
  • 농축수산물의 멸균
  • 오염된 토양의 정화
  • 하수 처리

IT

TFT-LCD용 대면적 유리기판의 세정

웨이퍼 세정 PCB기판의 표면처리

폴리머의 표면 개질(OLED, 유기 태양전지)

NT

나노 튜브 및 나노 입자의 표면 처리

나노 튜브 및 나노 입자의 표면 처리

BT

바이오칩,바이오센서 세포 표면 처리 식물종자 활성화

의료기기 소독, 인공관절 표면 개질을 통한 접합성 증가

ET

농축수산물의 멸균

오염된 토양의 정화

하수 처리