Plasma Treatment
Atomospheric Pressure Plasma Jet Treatment System
(대기압 저온 마이크로 플라즈마 표면처리 시스템)
![](/public/img/sub/busi03-top.jpg)
- Applications
- Medial & Bio Application
- MEMS
- Surface Treatment
- PDMS & Glass Bonding Process
- Microfluidic Chip
-
저온 대기압 플라즈마
표면처리 시스템 -
- 최근 급속 성장하는 플라스틱 또는 유리 기반으로 한 바이오 칩 제작 관련 수요
- 대면적 접합 공정을 이용하는 반도체 소자 및 MEMS 소자 관련 수요
- 저온 플라즈마 표면 처리 기술이 바이오칩 소자 패키지의 핵심 기술
- 친환경적 기술이므로 기존에 사용되는 화학약품 공정의 대체 가능성
- 폐기물 처리와 오염된 토양 및 공기의 정화 등에 대한 이용 가능성
![](/public/img/sub/busi03-1.jpg)
![](/public/img/sub/busi03-2.jpg)
![](/public/img/sub/busi03-3.jpg)
![](/public/img/sub/busi03-4.jpg)
![](/public/img/sub/busi03-5.jpg)
- 저온 대기압 플라즈마
분사시스템 응용분야 -
- IT
- TFT-LCD용 대면적 유리기판의 세정 IT
- 웨이퍼 세정 PCB기판의 표면처리
- 폴리머의 표면 개질(OLED, 유기 태양전지)
- NT
- 나노 튜브 및 나노 입자의 표면처리
- BT
- 바오이칩 바이오센서 세포 표면처리 (식물종자 활성화)
- 의료기기 소독 (인공관절 표면개질을 통한 접합성 증가)
- ET
- 농축수산물의 멸균
- 오염된 토양의 정화
- 하수 처리
- IT
IT
![](/public/img/sub/busi03-it1.jpg)
TFT-LCD용 대면적 유리기판의 세정
![](/public/img/sub/busi03-it2.jpg)
웨이퍼 세정 PCB기판의 표면처리
![](/public/img/sub/busi03-it3.jpg)
폴리머의 표면 개질(OLED, 유기 태양전지)
NT
![](/public/img/sub/busi03-nt1.jpg)
나노 튜브 및 나노 입자의 표면 처리
![](/public/img/sub/busi03-nt2.jpg)
나노 튜브 및 나노 입자의 표면 처리
BT
![](/public/img/sub/busi03-bt1.jpg)
바이오칩,바이오센서 세포 표면 처리 식물종자 활성화
![](/public/img/sub/busi03-bt2.jpg)
의료기기 소독, 인공관절 표면 개질을 통한 접합성 증가
ET
![](/public/img/sub/busi03-et1.jpg)
농축수산물의 멸균
![](/public/img/sub/busi03-et2.jpg)
오염된 토양의 정화
![](/public/img/sub/busi03-et3.jpg)
하수 처리